德國OEG公司簡介
德國OEG生產的半導體行業專業的SURFTENS系列測量儀，含手動、自動。能夠精準測量接觸角/表面張力/自由能。適用于晶圓鍍膜和光刻過程檢控、控制晶圓的涂層和光刻工藝、檢查硅晶圓表面潤濕能力，客觀檢測晶圓表面處理后的表面自由能，生產中控制技術參數、保證生產質量或開發新的鍍膜技術。適用于無塵室的要求。另配有光刻膠邊緣分析儀。
德國OEG生產的半導體行業專業的SURFTENS系列測量儀，含手動、自動。能夠精準測量接觸角/表面張力/自由能。適用于晶圓鍍膜和光刻過程檢控、控制晶圓的涂層和光刻工藝、檢查硅晶圓表面潤濕能力，客觀檢測晶圓表面處理后的表面自由能，生產中控制技術參數、保證生產質量或開發新的鍍膜技術。適用于無塵室的要求。另配有光刻膠邊緣分析儀。
