8寸晶圓解膠機(jī)
品牌:Powatec
型號(hào):U-200
產(chǎn)地:瑞士
關(guān)鍵字:紫外固化機(jī)、晶圓解膠機(jī)
型號(hào):U-200
產(chǎn)地:瑞士
關(guān)鍵字:紫外固化機(jī)、晶圓解膠機(jī)
POWATEC 固化系統(tǒng)用于固化最大 8" 的晶圓和框架。LED 產(chǎn)生 365 nm 的波長(zhǎng),最大輸出光功率為 750 mW。
打開蓋子,將晶圓放在左側(cè)傳送帶上。按下啟動(dòng)按鈕。晶圓在 LED 單元上方移動(dòng)到右側(cè)。固化在大約 20-30 秒后完成,產(chǎn)生 130-180 幀/小時(shí)的穩(wěn)定吞吐量。完全可調(diào)的固化時(shí)間范圍在 15 秒到 3 分鐘之間。
主要特點(diǎn):
- 采購(gòu)成本低=總擁有成本 (COO) 最低!
- 沒有產(chǎn)生有害臭氧
- 零預(yù)熱時(shí)間
- UV - LED使用壽命長(zhǎng)( 10,000小時(shí)以上)
- 低強(qiáng)度下降(10,000小時(shí)內(nèi)下降 5%)
- 對(duì)薄膜沒有熱影響
- 緊湊而堅(jiān)固的桌子設(shè)計(jì)
- 安裝和實(shí)施時(shí)間短
- 維護(hù)成本低
- 符合IEC 204-1安全標(biāo)準(zhǔn)
- 生產(chǎn)率130-180晶圓/小時(shí)。
選項(xiàng):
- 氮?dú)饬茉?/span>
- 帶儲(chǔ)物空間的支撐臺(tái),適用于潔凈室
創(chuàng)建時(shí)間:2021-09-28 10:25
產(chǎn)品中心
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三維表面形貌儀
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Mountains分析軟件
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微納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)
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摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)
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SIC晶錠滾磨機(jī)/晶圓減薄機(jī)
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CMP化學(xué)機(jī)械拋光/后清洗機(jī)
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晶圓粘片機(jī)
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臨時(shí)鍵合機(jī)/解鍵合機(jī)
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晶圓厚度/三維形貌/膜厚測(cè)量系統(tǒng)
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表面顆粒度檢測(cè)系統(tǒng)
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原子力顯微鏡
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紅外光譜儀
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4D生物顯微鏡
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晶圓AOI系統(tǒng)
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晶圓電阻率/方塊電阻測(cè)量?jī)x
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納米壓印系統(tǒng)
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光柵尺寸無(wú)損檢測(cè)儀
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磁控濺射/熱蒸發(fā)/電子束鍍膜系統(tǒng)
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LPCVD/PECVD
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干法刻蝕
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等離子灰化去膠系統(tǒng)
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晶圓烤膠系統(tǒng)(熱板)
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濕法(顯影刻蝕清洗)系統(tǒng)
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晶圓貼片機(jī)/貼膜/解膠機(jī)
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棱鏡耦合儀
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快速退火爐/真空高溫爐
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光刻膠邊緣分析
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劃片機(jī)
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平面磨床/金屬研磨機(jī)
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接觸角測(cè)量?jī)x