全自動濕法處理系統

n產品簡介

CHEMIXX 1201是全自動濕法處理系統，配置cassette to cassette 或foup,，支持12寸及以下尺寸晶圓或9 x 9 英寸方片的濕法處理，包括蝕刻、清潔或顯影工藝。該系統可配置3個自動輸送臂，多種不同的噴嘴，以滿足不同的濕法應用。

n產品特色

÷ 應用領域：清洗、蝕刻或顯影

÷ 襯底尺寸可達 Ø300 毫米或可達 230 x 230 毫米

÷ 最多三個自動輸送臂

÷ 可選不同類型的噴嘴和 BSR 噴嘴

÷ 去離子水室沖洗

÷ 電阻率 PH-Sensor 控制

÷ 單臂或雙臂機械臂

÷ 帶 FOUP 或 Cassette 的

÷ 真空或低接觸卡盤

÷ 外部10或40升不同化學品罐可選

÷ 由 PP 制成的工藝室（可選 ECTFE）

÷ 兩個或多個排液分流器（傳感器控制和通過配方編程）

÷ 帶有四個光區的信號燈，使系統狀態可視化

÷ 滿足潔凈室等級 10 (ISO 4) 的通用設計

÷ 兼容SCES/GEM通訊協議

÷ 清洗部分，包含PVA刷洗，兆聲清洗，化學液清洗等模組

n技術數據

÷ 襯底尺寸: 最大可達 Ø300 mm (Ø12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)

÷ 電機轉速: 最大 6.000 轉數*, 以 1 轉 步進可編程

÷ 電機加速: 最大 40.000 轉/秒*, 以 1 轉/秒的步進

÷ 步進時間: 1 至 999.9 秒，步長為 0.1 秒

系統架構: 由粉末涂層不銹鋼制成，4 個可調節支腳和運輸輪以及用于加工區域的透明和可鎖定的玻璃門

÷ 處理室: 由 PP 白色制成（可選 ECTFE）

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