全自動臨時鍵合機

n產品簡介

AFIXX 20a 是一款全自動臨時鍵合設備，主要用于將單個基板，碎片等臨時粘合到剛性載體或其他基板上。裝載和卸載和臨時鍵合過程均是全自動執行的。它適用于非常薄的易碎基材和柔性塑料材料，系統集成了一個加熱板，可以將載體或基材加熱到 200ºC。

n產品特色

÷ 全自動機臺cassette to casstte

÷ 基材尺寸最大Ø 200 mm (Ø 8″)（可選  Ø 300 mm (Ø 12″) 或 230 x 230 mm (9″x 9″)）

÷ 全自動自動臨時粘接處理

÷ 高達 200ºC 的集成加熱板

÷ 適用于非常薄的易碎晶圓 (< 40 μm) 和柔性塑料材料

÷ 良好的 TTV

÷ 用于精確對準晶圓和載體的激光標記

÷ 用于安全過程觀察的透明門

÷ 用于操作 GUI 的系統控制單元 (windows 7 /10)

÷ 22" 觸摸屏顯示器

÷ 與硅、化合物和玻璃材料兼容

÷ 設計大批量生產

n產業應用

該系統主要用于 CMP、研磨、拋光和蝕刻等工業的臨時鍵合處理。

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