AutoSCIL全自動納米壓印光刻機

n 荷蘭SCIL公司簡介

  荷蘭SCIL公司是全球知名的納米壓印設備供應商，是荷蘭飛利浦公司投資的高科技公司之一，并與SUSS，Fraunhofer，AMO，AMOLF合作，共同開發了專利的“SCIL基底保形壓印”技術，真正意義上實現了納米壓印技術的工業wafer級量產，已經被國際上很多知名fab廠采用。

       “SCIL基底保形壓印光刻”是一種經濟高效、穩健、高產量的工藝，可在多種材料上實現納米分辨率圖案。SCIL可實現在達 300 毫米的晶圓區域上提供經過驗證的高質量壓印。它可用于制作特征尺寸小于 10 nm 和套刻對齊精度小于 1 µm 的圖案。

  荷蘭SCIL公司同時開發了專利的無機玻璃納米壓印光刻膠，可直接作為功能層使用，可直接省去2個工藝步驟，大大降低了生產成本。

       SCIL 目前可提供2” 至 12”晶圓手動研發工具到全自動系統的全方位解決方案，并可以幫助客戶優化設備、耗材和流程，以實現大批量生產。

n SCIL 技術特色

  - 即使在非平坦和彎曲的表面上也可以保證保形接觸印刷（專利的模板復制技術）。

  - 獨特的 SCIL 壓印工藝可確保＜10 nm 分辨率、低圖案變形和無顆粒損壞印模。

  - 套刻對齊精度：< 1 µm

  - -gel的優異蝕刻特性可得到極高的蝕刻率。

  - Sol-gel的的熱穩定性、光學透明度和（UV）穩定性使其適合作為功能層。

  - 使用熱Sol-gel大大增加了母版壽命。

  - 總體而言，SCIL可將最高的壓印質量和產量與高吞吐量和低總體擁有成本相結合。

n AutoSCIL型全自動納米壓印系統簡介

AutoSCIL型全自動納米壓印系統包括所有基本工藝步驟：晶片處理、預對準、旋涂、SCIL 壓印、烘烤和冷卻。

n 技術參數

n 應用

  納米圖案化是眾多納米光子應用的關鍵工藝步驟。下面提到的應用程序只是一個選擇。其他應用包括：

  - 增強現實和虛擬現實 (AR/VR) 光學

      - MicroLED

      - MEMS和傳感器