全自動晶圓勻膠/噴膠機(jī)

n產(chǎn)品簡介

VARIXX 804型全自動勻膠噴膠機(jī)采用新的噴涂概念，將兩種不同的噴涂方法集成到一個系統(tǒng)中，可用于2D噴膠，也可以對凹凸面進(jìn)行3D噴涂，全自動裝卸，全自動噴涂旋涂，同時(shí)可配置勻膠，顯影，清洗，烘焙模塊。

n產(chǎn)品特色

÷ 適用于所有形貌和形狀的噴涂。

÷ 工作臺具有加熱功能

÷ 自動裝卸

÷ 集成兩個具有自動快速更換功能的超聲波噴嘴。

÷ 集成安全傳感器

÷ 6軸機(jī)械手系統(tǒng)

÷ 注射器分散系統(tǒng)

÷ 采用粉末涂層不銹鋼制成的系統(tǒng)框架和工藝容器

÷ 用于加工區(qū)域的可鎖定透明門

÷ 系統(tǒng)正面的緊急停止按鈕

÷ 帶有三個光區(qū)的信號燈，用于顯示系統(tǒng)狀態(tài)

÷ 可調(diào)節(jié)調(diào)平腳和運(yùn)輸輪

÷ 滿足潔凈室 10 級的通用設(shè)計(jì) (ISO 4)

÷ 帶有 22" 觸摸屏顯示器的用戶友好型操作界面 GUI

÷ 可編程工藝參數(shù)（噴嘴位置、光刻膠劑量、速度和 N2 流量）

÷ 配方和流程的庫函數(shù)

÷ 襯底尺寸: 圓片從 Ø 200mm (8 inch) 到 Ø 300mm (12 inch) ,

                   方片從 9 x 9 inch 到 21 x 21 inch