全自動晶圓勻膠/噴膠機(jī)
品牌:Osiris
型號:VARIXX 804
產(chǎn)地:德國
關(guān)鍵字:全自動、勻膠、噴涂、光刻膠噴涂
型號:VARIXX 804
產(chǎn)地:德國
關(guān)鍵字:全自動、勻膠、噴涂、光刻膠噴涂
n產(chǎn)品簡介
VARIXX 804型全自動勻膠噴膠機(jī)采用新的噴涂概念,將兩種不同的噴涂方法集成到一個系統(tǒng)中,可用于2D噴膠,也可以對凹凸面進(jìn)行3D噴涂,全自動裝卸,全自動噴涂旋涂,同時(shí)可配置勻膠,顯影,清洗,烘焙模塊。
n產(chǎn)品特色
÷ 適用于所有形貌和形狀的噴涂。
÷ 工作臺具有加熱功能
÷ 自動裝卸
÷ 集成兩個具有自動快速更換功能的超聲波噴嘴。
÷ 集成安全傳感器
÷ 6軸機(jī)械手系統(tǒng)
÷ 注射器分散系統(tǒng)
÷ 采用粉末涂層不銹鋼制成的系統(tǒng)框架和工藝容器
÷ 用于加工區(qū)域的可鎖定透明門
÷ 系統(tǒng)正面的緊急停止按鈕
÷ 帶有三個光區(qū)的信號燈,用于顯示系統(tǒng)狀態(tài)
÷ 可調(diào)節(jié)調(diào)平腳和運(yùn)輸輪
÷ 滿足潔凈室 10 級的通用設(shè)計(jì) (ISO 4)
÷ 帶有 22" 觸摸屏顯示器的用戶友好型操作界面 GUI
÷ 可編程工藝參數(shù)(噴嘴位置、光刻膠劑量、速度和 N2 流量)
÷ 配方和流程的庫函數(shù)
÷ 襯底尺寸: 圓片從 Ø 200mm (8 inch) 到 Ø 300mm (12 inch) ,
方片從 9 x 9 inch 到 21 x 21 inch

創(chuàng)建時(shí)間:2023-04-10 16:58
產(chǎn)品中心
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三維表面形貌儀
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Mountains分析軟件
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微納米力學(xué)測試系統(tǒng)
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摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)
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SIC晶錠滾磨機(jī)/晶圓減薄機(jī)
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CMP化學(xué)機(jī)械拋光/后清洗機(jī)
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晶圓粘片機(jī)
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臨時(shí)鍵合機(jī)/解鍵合機(jī)
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晶圓厚度/三維形貌/膜厚測量系統(tǒng)
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表面顆粒度檢測系統(tǒng)
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原子力顯微鏡
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拉曼顯微鏡
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紅外光譜儀
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4D生物顯微鏡
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晶圓AOI系統(tǒng)
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晶圓電阻率/方塊電阻測量儀
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納米壓印系統(tǒng)
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光柵尺寸無損檢測儀
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磁控濺射/熱蒸發(fā)/電子束鍍膜系統(tǒng)
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LPCVD/PECVD
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干法刻蝕
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等離子灰化去膠系統(tǒng)
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晶圓勻膠機(jī)/噴膠機(jī)
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晶圓烤膠系統(tǒng)(熱板)
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濕法(顯影刻蝕清洗)系統(tǒng)
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晶圓貼片機(jī)/貼膜/解膠機(jī)
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棱鏡耦合儀
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快速退火爐/真空高溫爐
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光刻膠邊緣分析
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劃片機(jī)
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平面磨床/金屬研磨機(jī)
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接觸角測量儀