Alpha300S掃描近場(chǎng)顯微鏡
型號(hào): Alpha300 S
產(chǎn)地:德國(guó)
關(guān)鍵詞:掃描近場(chǎng)光學(xué), 顯微鏡, AFM
n產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的空間分辨率受限于光學(xué)衍射極限,最高分辨率為波長(zhǎng)的一半λ/2。掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡 (SNOM或NSOM) 則可以突破衍射極限,實(shí)現(xiàn)了60-100nm的超高光學(xué)空間分辨率。近場(chǎng)光學(xué)技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域非常廣,無需特殊樣品制備。
WITec公司的 alpha300 S近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡采用硅基中空懸臂式近場(chǎng)探針,輕松實(shí)現(xiàn)超衍射極限的光學(xué)成像。在近場(chǎng)光學(xué)圖像采集的過程中,可同時(shí)獲得樣品的AFM表面形貌,實(shí)現(xiàn)近場(chǎng)光學(xué)信息與樣品形貌的相關(guān)分析。WITec近場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)采用成熟穩(wěn)定的AFM激光偏轉(zhuǎn)反饋系統(tǒng)同來控制探針與樣品之間的距離。與熒光技術(shù)聯(lián)用,近場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)單分子檢測(cè)。
n技術(shù)特色:
- 突破衍射極限的空間光學(xué)分辨率:可實(shí)現(xiàn)60-100nm超高光學(xué)分辨率。
- 獨(dú)家專利的SNOM懸臂探針技術(shù)


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[A] SNOM探針和樣品的光學(xué)圖像(俯視圖)
[B] 探針側(cè)視圖
[C] SNOM探針的SEM圖像
[D] SNOM探針尖端的小孔SEM圖像
[E] 批量生產(chǎn)的SNOM探針
- 操作簡(jiǎn)單:alpha300 S系統(tǒng)采用軟件可控的快速自動(dòng)進(jìn)針及調(diào)節(jié)等自動(dòng)測(cè)試流程,操作非常簡(jiǎn)便、直觀。
- 工作模式多:配備透射、反射及熒光等多種光學(xué)模式。
- 由于近場(chǎng)光學(xué)信號(hào)極其微弱,配備高靈敏單光子計(jì)數(shù)的光電倍增管或雪崩二極管,并同時(shí)提供檢測(cè)器快速超載保護(hù)。
- 在空氣與液體中均可使用
- 非破壞性、無需標(biāo)記的超高分辨成像技術(shù),基本不需要樣品制備
- 集成三種技術(shù)到一臺(tái)儀器上:共聚焦拉曼顯微鏡、AFM 和SNOM
n測(cè)試實(shí)例:






產(chǎn)品中心
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三維表面形貌儀
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Mountains分析軟件
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微納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)
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摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)
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SIC晶錠滾磨機(jī)/晶圓減薄機(jī)
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CMP化學(xué)機(jī)械拋光/后清洗機(jī)
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晶圓粘片機(jī)
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臨時(shí)鍵合機(jī)/解鍵合機(jī)
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晶圓厚度/三維形貌/膜厚測(cè)量系統(tǒng)
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表面顆粒度檢測(cè)系統(tǒng)
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原子力顯微鏡
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拉曼顯微鏡
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紅外光譜儀
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4D生物顯微鏡
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晶圓AOI系統(tǒng)
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晶圓電阻率/方塊電阻測(cè)量?jī)x
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納米壓印系統(tǒng)
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光柵尺寸無損檢測(cè)儀
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磁控濺射/熱蒸發(fā)/電子束鍍膜系統(tǒng)
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LPCVD/PECVD
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干法刻蝕
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等離子灰化去膠系統(tǒng)
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晶圓勻膠機(jī)/噴膠機(jī)
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晶圓烤膠系統(tǒng)(熱板)
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濕法(顯影刻蝕清洗)系統(tǒng)
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晶圓貼片機(jī)/貼膜/解膠機(jī)
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棱鏡耦合儀
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快速退火爐/真空高溫爐
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光刻膠邊緣分析
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劃片機(jī)
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平面磨床/金屬研磨機(jī)
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接觸角測(cè)量?jī)x