Alpha300S掃描近場顯微鏡
型號: Alpha300 S
產地:德國
關鍵詞:掃描近場光學, 顯微鏡, AFM
n產品簡介:
傳統光學顯微鏡的空間分辨率受限于光學衍射極限,最高分辨率為波長的一半λ/2。掃描近場光學顯微鏡 (SNOM或NSOM) 則可以突破衍射極限,實現了60-100nm的超高光學空間分辨率。近場光學技術應用領域非常廣,無需特殊樣品制備。
WITec公司的 alpha300 S近場光學顯微鏡采用硅基中空懸臂式近場探針,輕松實現超衍射極限的光學成像。在近場光學圖像采集的過程中,可同時獲得樣品的AFM表面形貌,實現近場光學信息與樣品形貌的相關分析。WITec近場光學系統采用成熟穩定的AFM激光偏轉反饋系統同來控制探針與樣品之間的距離。與熒光技術聯用,近場光學系統可實現單分子檢測。
n技術特色:
- 突破衍射極限的空間光學分辨率:可實現60-100nm超高光學分辨率。
- 獨家專利的SNOM懸臂探針技術


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[A] SNOM探針和樣品的光學圖像(俯視圖)
[B] 探針側視圖
[C] SNOM探針的SEM圖像
[D] SNOM探針尖端的小孔SEM圖像
[E] 批量生產的SNOM探針
- 操作簡單:alpha300 S系統采用軟件可控的快速自動進針及調節等自動測試流程,操作非常簡便、直觀。
- 工作模式多:配備透射、反射及熒光等多種光學模式。
- 由于近場光學信號極其微弱,配備高靈敏單光子計數的光電倍增管或雪崩二極管,并同時提供檢測器快速超載保護。
- 在空氣與液體中均可使用
- 非破壞性、無需標記的超高分辨成像技術,基本不需要樣品制備
- 集成三種技術到一臺儀器上:共聚焦拉曼顯微鏡、AFM 和SNOM
n測試實例:






產品中心
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三維表面形貌儀
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Mountains分析軟件
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晶圓粘片機
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晶圓厚度/三維形貌/膜厚測量系統
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表面顆粒度檢測系統
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原子力顯微鏡
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紅外光譜儀
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4D生物顯微鏡
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晶圓AOI系統
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晶圓電阻率/方塊電阻測量儀
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納米壓印系統
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光柵尺寸無損檢測儀
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磁控濺射/熱蒸發/電子束鍍膜系統
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LPCVD/PECVD
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干法刻蝕
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濕法(顯影刻蝕清洗)系統
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光刻膠邊緣分析
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