RISE拉曼成像與掃描電鏡聯用系統
型號:RISE
產地:德國
關鍵字:快速方便、高靈敏度、高分辨
n產品簡介:
RISE是世界首款完全集成的共聚焦拉曼成像系統與掃描電子顯微鏡的綜合測試系統,它將SEM和共聚焦拉曼成像結合在一起。通過RISE顯微鏡,可以將超微結構表面特性與分子化合物信息關聯起來。
RISE顯微鏡將SEM和alpha300共聚焦拉曼成像顯微鏡的所有功能都融于一臺儀器中:
- 在拉曼和 SEM 測量之間快速、簡便切換
- 自動將樣品從一個測量位置移動另一個位置
- 集成化軟件界面,方便用戶進行測量控制
- 測量結果關聯與圖像疊加
- 獨立的SEM 和拉曼成像性能產品主要特性:拉曼性能請參考Alpha300R型共聚焦拉曼顯微鏡的介紹,SEM部分,我司合作伙伴是Zeiss 電鏡與Tescan電鏡兩個廠家。

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n聯用技術簡介:

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利用 RISE 顯微鏡,先測量SEM的測量時只需將樣品在 SEM 真空室內從一個測量位置自動轉移到另一個位置,從而簡化了工作流程,大大提高了儀器的易用性。
n產品特色
- 在拉曼光譜和掃描電鏡之間快速方便的轉換
- 拉曼光譜成像:每個樣品點都能獲取完整的拉曼光譜
- 2D和3D成像模式:平面(x-y方向)和深度掃描(z方向)
- 極好的衍射極限橫向分辨率:200-300nm
- SEM 和拉曼成像互不影響共聚焦拉曼成像
- 更高的共焦拉曼成像速度、靈敏度和分辨率
- 優異的深度分辨率適合三維圖像生成和深度分析
- 最高靈敏度和最佳分辨率的光譜系統
- 超快拉曼成像選項,每張光譜0.76毫秒的采集時間
- 非破壞性成像技術,無需對樣品進行染色
n應用實例

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倉鼠腦組織切片的拉曼-SEM疊加圖像。彩色編碼的拉曼圖像:綠色:腦白質;紅色:腦灰質;掃描范圍:100 x 100 µm,300 x 300 像素 = 90,000光譜,每光譜測量時間50 ms。


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砷化鎵 (GaAs) 樣品的拉曼-SEM疊加圖像。
彩色編碼的拉曼圖像:黃色:金基底;紅色:GaAs;藍色:生產殘留物;掃描范圍:50 x 50μm,300 x 300像素= 90,000光譜,每光譜測量時間34ms。


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PMMA-PS 共混聚合物的拉曼-SEM疊加圖像。 彩色編碼的拉曼圖像:綠色:聚苯乙烯;紅色:聚甲基丙烯酸甲酯。


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RISE 顯微鏡與地質樣品的 EDX 同區域對應分析。左:疊加的 SEM-EDX 圖像:可以區分三種不同元素組(橙色:Si、O;紫色:Si、Al、Fe、Ca;綠色:Na)。中間:同一樣品區的拉曼-SEM疊加圖像,呈現分子化合物的空間分布。右:相應的拉曼光譜。紅色:綠簾石;綠色:石英;棕色:斜長石(鈉長石);額外其他分子化合物。
n應用領域
該儀器廣泛用于材料科學、 薄膜與聚合物研究、生命科學、半導體研究、 晶體研究、制藥科學,化學,地質學,物理學。
產品中心
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三維表面形貌儀
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Mountains分析軟件
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微納米力學測試系統
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摩擦磨損試驗機
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SIC晶錠滾磨機/晶圓減薄機
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CMP化學機械拋光/后清洗機
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晶圓粘片機
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臨時鍵合機/解鍵合機
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晶圓厚度/三維形貌/膜厚測量系統
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表面顆粒度檢測系統
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原子力顯微鏡
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拉曼顯微鏡
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紅外光譜儀
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4D生物顯微鏡
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晶圓AOI系統
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晶圓電阻率/方塊電阻測量儀
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納米壓印系統
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光柵尺寸無損檢測儀
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磁控濺射/熱蒸發/電子束鍍膜系統
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LPCVD/PECVD
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干法刻蝕
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等離子灰化去膠系統
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晶圓勻膠機/噴膠機
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晶圓烤膠系統(熱板)
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濕法(顯影刻蝕清洗)系統
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晶圓貼片機/貼膜/解膠機
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棱鏡耦合儀
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快速退火爐/真空高溫爐
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光刻膠邊緣分析
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劃片機
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平面磨床/金屬研磨機
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接觸角測量儀