12寸晶圓解膠機

POWATEC 固化系統專為固化最大 300 毫米的晶圓和框架而設計。LED 產生的波長為 365 nm，最大輸出光功率為 750 mW。

打開蓋子，將晶圓放在左側傳送帶上。按下啟動按鈕。晶圓在 LED 單元上方移動到右側。固化在大約 20-30 秒后完成，產生 130-180 幀/小時的穩定吞吐量。完全可調的固化時間范圍在 15 秒到 3 分鐘之間。

主要特點：

• 采購成本低=總擁有成本 (COO) 最低！
• 沒有產生有害臭氧
• 零預熱時間
• UV - LED使用壽命長（ 10,000小時以上）
• 低強度下降（10,000小時內下降 5%）
• 對薄膜沒有熱影響
• 緊湊而堅固的桌子設計
• 安裝和實施時間短
• 維護成本低
• 符合IEC 204-1安全標準
• 生產率130-180晶圓/小時。

選項：

• 氮氣淋浴
• 帶儲物空間的支撐臺，適用于潔凈室