18寸晶圓解膠機(jī)

POWATEC 固化系統(tǒng)專(zhuān)為框架最大為 450毫米的晶圓而設(shè)計(jì)。LED 產(chǎn)生的波長(zhǎng)為 365 nm ，最大輸出光功率為 800 mW。

打開(kāi)蓋子并將晶片插入玻璃窗格。蓋上蓋子。曝光將立即開(kāi)始。固化在大約 10-60 秒后完成，產(chǎn)生50 至 180 個(gè)晶圓/小時(shí)的穩(wěn)定吞吐量。完全可調(diào)的曝光劑量范圍在 80 mJ/cm² 到 1000 mJ/cm² 之間。

主要特點(diǎn)：

• 采購(gòu)成本低=總擁有成本 (COO) 最低！
• 沒(méi)有產(chǎn)生有害臭氧
• 零預(yù)熱時(shí)間
• UV - LED使用壽命長(zhǎng)（ 10,000小時(shí)以上）
• 低強(qiáng)度下降（10,000小時(shí)內(nèi)下降 5%）
• 對(duì)薄膜沒(méi)有熱影響
• 緊湊而堅(jiān)固的桌子設(shè)計(jì)
• 安裝和實(shí)施時(shí)間短
• 維護(hù)成本低
• 符合IEC 204-1安全標(biāo)準(zhǔn)
• 生產(chǎn)率50-180晶圓/小時(shí)。

選項(xiàng)：

• 氮?dú)饬茉?/span>