桌面型勻膠機

n產品簡介

BASIXX ST20 +是一款桌面式勻膠機系統，性價比高，具有勻膠、清洗、顯影和干燥等多種功能，樣品最大尺寸為8寸晶圓或者150mm*150mm方片，廣泛用于大學，研究所等科研實驗室。

n產品特色

÷ 桌面版本的緊湊型設計

÷ 手動裝載/卸載

÷ 襯底最大可達 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 軟件提供用戶友好的操作

÷ 直驅旋涂電機

÷ 全軸電機驅動且完全可編程

÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋

÷ 可更換并易于拆卸的工藝腔和防濺環，方便清潔。

÷ 系統材料可抵抗所有類型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質。 (PP-聚丙烯)

÷ 包含 0.5 升廢液瓶

n技術數據

÷ 襯底尺寸: 最大可達 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 電機轉速: 最大 10.000 rpm，步長 1 rpm

÷ 電機加速: 最大 4.000 rpm/s

÷ 步進時間: 1 至 999.9 s，步長為 0.1 s

÷  工作腔材料: PP 

÷  系統架構材料: PP 

÷  液體線路：

    3線 : 2 x 24 V / 最大 1 Amp (每條) / 觸發點 0.1 秒 - ∞

   5線: 6 x 24 V / 最大 1 Amp (每條) / 觸發點 0.1 秒 - ∞

n選項

÷  自動液體輸送臂            ÷  液體罐                      ÷  防濺環

÷  廢液池                          ÷  DI水沖洗                    ÷  N2吹掃

÷  熱板                             ÷  不同類型的夾具         ÷  中心定位模塊