臺式勻膠機

n產品簡介

BASIXX SB20 +是一款臺式半自動勻膠機系統，功能強大，具有勻膠、清洗、顯影和干燥等多種功能，樣品最大尺寸為8寸晶圓或者150mm*150mm方片，廣泛用于大學，研究所等科研實驗室。

n產品特色

÷ 落地臺式機，結構緊湊，所有單元集成在一臺設備中，集成度高。

÷ 手動裝載/卸載

÷ 襯底最大可達 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 軟件提供用戶友好的操作

÷ 直驅旋涂電機

÷ 全軸電機驅動且完全可編程

÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋

÷ 外殼上有電源開關 ON / OFF

÷ 工藝腔和可更換防濺環，易于拆卸以進行清潔。

÷ 系統材料為PP材質，耐所有類型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質。 

÷ 包括 0.5 升廢液瓶

n技術數據

÷ 襯底尺寸: 最大可達 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 電機轉速: 最大 10.000rpm, 步長 1 rpm

÷ 電機加速: 最大 4.000 rpm/s

÷ 步進時間: 1 至 999.9 s，步長為 0.1s

÷ 工藝腔材質: 由天然 PP 制成

÷ 系統架構材質: 由白色 PP 制成

÷ 液體線路：

3線: 2 x 24 V / 最大 1 Amp (每條) / 觸發點 0.1 秒 - ∞

5線: 6 x 24 V / 最大 1 Amp (每條) / 觸發點 0.1 秒 - ∞

n選項

÷  自動液體輸送臂            ÷  液體罐                      ÷  防濺環

÷  廢液池                          ÷  DI水沖洗                    ÷  N2吹掃

÷  熱板                             ÷  不同類型的夾具         ÷  中心定位模塊