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晶圓魔鏡

晶圓級三維形貌儀1
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品牌：E+H

型號：GNS

產地：德國

關鍵字：晶圓光學輪廓儀、晶圓三維表面形貌儀、納米顯微鏡

 

n產品簡介

    晶圓墨鏡可以在30秒內測量出整個晶圓的納米級形貌，主要用于測量晶圓表面的納米級缺陷。

n產品原理：采用魔鏡反射原理

n 產品特性：

  • 一次測量300mm整個表面形貌，無需縫合
  • 納米級極高分辨率
  • 市場上最快的完整表面測量
  • 對振動無特殊要求
  • 適用于所有反光表面的創新技術

n主要技術參數:

測量范圍

12寸，向下兼容

動態范圍

坡度: ±0.14°

bow: ＜100 µm

橫向分辨率

110 µm

縱向分辨率

1 nm (typically, with small bow below 50 µm)

重復性

1 σ ≤ 1 nm 

每張測量時間

30 sec

軟件分析試劑

1 - 2 minutes

振動等級要求

VC-A

 

n產品應用：

拋光減薄后的晶圓，玻璃表面缺陷檢測。

 

 

創建時間：2021-09-28 09:20

產品中心

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