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MPS R400CV 晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)

MPSR400CV

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品牌：G&N

型號(hào)：MPS R400CV

產(chǎn)地：德國(guó)

關(guān)鍵字：晶圓研磨機(jī)、晶圓減薄機(jī)、研磨機(jī)、減薄機(jī)

n產(chǎn)品簡(jiǎn)介

德國(guó)G&N公司前身為1940年成立的德國(guó)Kugelmüller有限公司，并于1964年開發(fā)了世界第一臺(tái)半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)。MPS R400 CV型晶圓研磨機(jī)是德國(guó)G&N公司開發(fā)的一款8寸晶圓研磨/減薄系統(tǒng)，采用了G&N公司最先進(jìn)的研磨技術(shù)，主要用于對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行減薄與精密研磨，該系統(tǒng)采用一個(gè)主軸，可安裝粗磨砂輪和精磨砂輪，系統(tǒng)穩(wěn)定性好，研磨精度高，適合科研客戶及小批量生產(chǎn)客戶。

n技術(shù)特色

- 立式進(jìn)給研磨加工方式，通過金剛石砂輪對(duì)晶圓進(jìn)行高速減薄加工

- 兼容2,3,4,5,6，8寸晶圓減薄與研磨

- 一個(gè)主軸可安裝粗磨砂輪與精磨砂輪

- 粗磨和精磨自動(dòng)轉(zhuǎn)換

- 砂輪進(jìn)給采用高精度伺服電機(jī)進(jìn)行控制，磨削精度高

- 系統(tǒng)采用高精度平衡系統(tǒng)，可補(bǔ)償在減薄過程中抖動(dòng)，加工穩(wěn)定性好，重復(fù)加工精度高

- 全封閉研磨區(qū)

- 砂輪為金剛石或者CBN

- 多種不同粒度和材料的砂輪用于研磨不同的材料

- 高精度PLC控制器

- 最低限度的TTV

- 可設(shè)置多個(gè)recipe程序自動(dòng)運(yùn)行

- 多種尺寸的真空夾具

- 可配置膜厚測(cè)量模塊

-對(duì)話式人機(jī)PC操作界面，觸摸屏幕，操作簡(jiǎn)便，可儲(chǔ)存多個(gè)recipes

n主要參數(shù)

研磨尺寸	兼容2” 3” 4” 5” 6” 8”	樣品臺(tái)平面起伏誤差	≤2μm
研磨方式	Z向切入方式，晶片與主軸同步旋轉(zhuǎn)	金剛石/CBN砂輪直徑	200mm
主軸數(shù)量	1個(gè)	單次可研磨wafer數(shù)量	32 x 2’’; 16 x 3’’; 8 x 4’’ ; 5 x 5’’; 4 x 6’’ ; 2 x 8’’
主軸類型	內(nèi)置高精度電機(jī) 空氣靜壓主軸	粗、精進(jìn)給范圍	170mm
砂輪類型	單一砂輪/雙砂輪可選	進(jìn)給精度	≤1μm
砂輪切換方式	手動(dòng)更換/自動(dòng)可選	最小步長(zhǎng)	0.1μm
粗磨速度	2-1000μm/min	加工后的表面粗糙度Ra	取決于砂輪，使用D7,Ra為0.016μm
精磨速度	2-1000μm/min	加工后單片厚度偏差TTV	≤3μm
主軸功率	3.7 KW	晶片與晶片之間的厚度偏差	≤2μm
主軸轉(zhuǎn)速	2560min^-1	重量	1130kg
樣品臺(tái)直徑	400mm	占地面積	1640 x 1210 mm
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速	2-20rpm	控制器	PLC控制系統(tǒng)

n產(chǎn)品應(yīng)用：

可研磨多種半導(dǎo)體材料，如AlN; Al2O3; GaAs; K2O,GaN; Ge; InP; Si; SiC; Si2N4等

創(chuàng)建時(shí)間：2021-10-03 22:15

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