大尺寸濕法處理系統

n產品簡介

CHEMIXX  760系統是一款大尺寸濕法系統，支持最大樣品達535X535mm(21寸方片)，更大的樣品尺寸可定制，一臺系統可實現清洗、蝕刻 、顯影 ，干燥整個工藝過程。

n產品特色

÷ 基板尺寸高達 535 x 535 mm/21 x 21 inch

÷ 手動裝載半自動系統

÷ 兩個用于化學液輸送和機械清洗的電動輸送臂

÷ 提供多種噴嘴，spray,puddle,噴霧，5孔碰頭等

÷ 低接觸或定制夾具

÷ 化學液具有加熱功能，最高 60°C (85°C) 

÷ 集成三種不同化學液供液系統，外部液體罐可選

÷ 手動灌裝或通過批量灌裝系統

÷ 工藝室外的手動去離子水槍

÷ 去離子水室沖洗

÷ 系統前端的緊急停止按鈕

÷ 傳感器控制的 3 路排水系統可通過配方進行編程。

÷ 帶有三個光區的信號燈，用于系統狀態的可視化

÷ 支持化學液清洗，兆聲清洗，PVA刷洗，吹干等工藝

÷ 滿足潔凈室等級 10 (ISO 4) 的一般設計

n技術數據

÷ 襯底尺寸: 最大可達 535 x 535 mm / 21 x 21 inch

÷ 電機轉速: 最大 3.000 rpm, 步長 1 rpm

÷ 電機加速: 最大 2.000 rpm/s,步長 1 rpm/s

÷ 步進時間: 1 至 999.9 秒，步長為 0.1 秒

÷ 工藝腔室材料:  PP （可選 PVDF)