臺式勻膠機（含熱板）

n產品簡介

BASIXX SH22是一款臺式半自動勻膠機熱板復合系統系統，功能強大，具有勻膠、清洗、顯影、干燥、預烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝等多種功能，樣品最大尺寸為8寸晶圓或者150mm*150mm方片，廣泛用于大學，研究所等科研實驗室。

n產品特色

勻膠機：

÷ 落地臺式機，結構緊湊，所有單元集成在一臺設備中，集成度高。

÷ 手動裝載/卸載

÷ 襯底最大可達 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 軟件提供用戶友好的操作

÷ 直驅旋涂電機

÷ 全軸電機驅動且完全可編程

÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋

÷ 外殼上有電源開關 ON / OFF

÷ 工藝腔和可更換防濺環，易于拆卸以進行清潔。

÷ 系統材料為PP材質，耐所有類型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質。 

÷ 包括 0.5 升廢液瓶

熱板：

÷ 溫度高達 300°C

÷ 電子驅動升降pin

÷ 支撐pin材料為不銹鋼，尖端采用 PEEK 材料 (最大250°C)

÷ 程序控制支撐pin的升降（不同停止的速度和步數）

÷ 熱板通過真空固定晶圓

÷ 熱板蓋手動控制

÷ 集成排煙裝置

÷ 通過設置receip自動進行加熱處理

n技術數據

勻膠機：
 

÷ 襯底尺寸: 最大可達 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 電機轉速: 最大 10.000rpm, 步長 1 rpm

÷ 電機加速: 最大 4.000 rpm/s

÷ 步進時間: 1 至 999.9 s，步長為 0.1s

÷ 工藝腔材質: 由天然 PP 制成

÷ 系統架構材質: 由白色 PP 制成

÷ 液體線路：

3線: 2 x 24 V / 最大 1 Amp (每條) / 觸發點 0.1 秒 - ∞

5線: 6 x 24 V / 最大 1 Amp (每條) / 觸發點 0.1 秒 - ∞

熱板：

÷ 襯底尺寸: 最大可達 Ø200 mm (Ø 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)

÷ 溫度: 最大可達 300°C, 步進1°C

÷ 溫度精度: < ±1°C@100°C 

÷ 支撐pin: Ø50 mm (Ø2”) ,最大可達 Ø200 mm(Ø8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)

÷ 熱板材質: 硬質陽極氧化鋁

÷ 加熱蓋材質: 不銹鋼

n選項

勻膠機：

÷  自動液體輸送臂                     ÷  液體罐                                 ÷  防濺環

÷  廢液池                                   ÷  DI水沖洗                             ÷  N2吹掃

÷  熱板                                       ÷  不同類型的夾具                   ÷  中心定位模塊

熱板：

÷ 支撐pin材料                                                                       ÷ 邊緣支撐pin                ÷ N2吹掃

÷ HMDS 熱板系統（六甲基二硅胺底膠蒸汽涂覆）                 ÷ 600℃熱板                    ÷ 真空泵