旋涂儀

n產品簡介

UNIXX SA20/30 半自動旋涂儀可提供出色的涂層均勻性和可重復性，特別是適用于薄涂層的旋涂，支持最大 Ø200 (Ø300) mm 的晶圓或者230mm*230mm的方片，并可配置用于旋涂、邊緣去膠、清洗和干燥模組。

n產品特色

÷ 開放式工作腔

÷ 圓形晶圓最大可達 Ø200 (Ø300) mm

÷ 方形襯底最大可達 150 x 150 (230 x 230) mm

÷ 適用于極薄和薄的光刻膠、SOG、Polymer 和 BCB 凸塊材料

÷ 易于清潔和維護

÷ 性價比高

÷ 手動裝卸

÷ 用于硅晶圓、玻璃晶圓、陶瓷晶圓和復合材料

÷ 1x 點膠臂，最多 6 條管線

÷ 可選不同類型的噴嘴

÷ 直驅無刷旋轉電機

÷ 帶防濺環，更換簡單

÷ 真空或低接觸卡盤或邊緣夾持卡盤可選

n技術數據

÷ 襯底尺寸: 最大可達 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

           最大可達 Ø300 mm (Ø12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)

÷ 電機轉速: 最大 10.000 rpm，步長 1 rpm，程序控制

÷ 電機加速: 最大 40.000 rpm/s，步長 1 rpm/s

÷ 步進時間: 1 到 999.9 秒, 步長 0.1 s

÷ 工藝腔體材料:  PP 

÷ 工藝蓋: 帶安全中斷傳感器的透明塑料蓋