旋涂儀
品牌:Osiris
型號:UNIXX SA20/30
產地:德國
關鍵字:勻膠機、旋涂系統、旋涂儀
型號:UNIXX SA20/30
產地:德國
關鍵字:勻膠機、旋涂系統、旋涂儀
n產品簡介
UNIXX SA20/30 半自動旋涂儀可提供出色的涂層均勻性和可重復性,特別是適用于薄涂層的旋涂,支持最大 Ø200 (Ø300) mm 的晶圓或者230mm*230mm的方片,并可配置用于旋涂、邊緣去膠、清洗和干燥模組。
n產品特色
÷ 開放式工作腔
÷ 圓形晶圓最大可達 Ø200 (Ø300) mm
÷ 方形襯底最大可達 150 x 150 (230 x 230) mm
÷ 適用于極薄和薄的光刻膠、SOG、Polymer 和 BCB 凸塊材料
÷ 易于清潔和維護
÷ 性價比高
÷ 手動裝卸
÷ 用于硅晶圓、玻璃晶圓、陶瓷晶圓和復合材料
÷ 1x 點膠臂,最多 6 條管線
÷ 可選不同類型的噴嘴
÷ 直驅無刷旋轉電機
÷ 帶防濺環,更換簡單
÷ 真空或低接觸卡盤或邊緣夾持卡盤可選
n技術數據
÷ 襯底尺寸: 最大可達 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
最大可達 Ø300 mm (Ø12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)
÷ 電機轉速: 最大 10.000 rpm,步長 1 rpm,程序控制
÷ 電機加速: 最大 40.000 rpm/s,步長 1 rpm/s
÷ 步進時間: 1 到 999.9 秒, 步長 0.1 s
÷ 工藝腔體材料: PP
÷ 工藝蓋: 帶安全中斷傳感器的透明塑料蓋

創建時間:2021-09-30 21:45
產品中心
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