旋涂?jī)x
型號(hào):UNIXX SA20/30
產(chǎn)地:德國(guó)
關(guān)鍵字:勻膠機(jī)、旋涂系統(tǒng)、旋涂?jī)x
n產(chǎn)品簡(jiǎn)介
UNIXX SA20/30 半自動(dòng)旋涂?jī)x可提供出色的涂層均勻性和可重復(fù)性,特別是適用于薄涂層的旋涂,支持最大 Ø200 (Ø300) mm 的晶圓或者230mm*230mm的方片,并可配置用于旋涂、邊緣去膠、清洗和干燥模組。
n產(chǎn)品特色
÷ 開(kāi)放式工作腔
÷ 圓形晶圓最大可達(dá) Ø200 (Ø300) mm
÷ 方形襯底最大可達(dá) 150 x 150 (230 x 230) mm
÷ 適用于極薄和薄的光刻膠、SOG、Polymer 和 BCB 凸塊材料
÷ 易于清潔和維護(hù)
÷ 性價(jià)比高
÷ 手動(dòng)裝卸
÷ 用于硅晶圓、玻璃晶圓、陶瓷晶圓和復(fù)合材料
÷ 1x 點(diǎn)膠臂,最多 6 條管線
÷ 可選不同類型的噴嘴
÷ 直驅(qū)無(wú)刷旋轉(zhuǎn)電機(jī)
÷ 帶防濺環(huán),更換簡(jiǎn)單
÷ 真空或低接觸卡盤或邊緣夾持卡盤可選
n技術(shù)數(shù)據(jù)
÷ 襯底尺寸: 最大可達(dá) Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
最大可達(dá) Ø300 mm (Ø12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)
÷ 電機(jī)轉(zhuǎn)速: 最大 10.000 rpm,步長(zhǎng) 1 rpm,程序控制
÷ 電機(jī)加速: 最大 40.000 rpm/s,步長(zhǎng) 1 rpm/s
÷ 步進(jìn)時(shí)間: 1 到 999.9 秒, 步長(zhǎng) 0.1 s
÷ 工藝腔體材料: PP
÷ 工藝蓋: 帶安全中斷傳感器的透明塑料蓋

產(chǎn)品中心
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三維表面形貌儀
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Mountains分析軟件
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微納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)
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摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)
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SIC晶錠滾磨機(jī)/晶圓減薄機(jī)
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CMP化學(xué)機(jī)械拋光/后清洗機(jī)
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晶圓粘片機(jī)
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臨時(shí)鍵合機(jī)/解鍵合機(jī)
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晶圓厚度/三維形貌/膜厚測(cè)量系統(tǒng)
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表面顆粒度檢測(cè)系統(tǒng)
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原子力顯微鏡
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拉曼顯微鏡
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紅外光譜儀
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4D生物顯微鏡
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晶圓AOI系統(tǒng)
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晶圓電阻率/方塊電阻測(cè)量?jī)x
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納米壓印系統(tǒng)
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光柵尺寸無(wú)損檢測(cè)儀
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磁控濺射/熱蒸發(fā)/電子束鍍膜系統(tǒng)
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LPCVD/PECVD
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干法刻蝕
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等離子灰化去膠系統(tǒng)
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晶圓勻膠機(jī)/噴膠機(jī)
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晶圓烤膠系統(tǒng)(熱板)
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濕法(顯影刻蝕清洗)系統(tǒng)
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晶圓貼片機(jī)/貼膜/解膠機(jī)
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棱鏡耦合儀
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快速退火爐/真空高溫爐
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光刻膠邊緣分析
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劃片機(jī)
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平面磨床/金屬研磨機(jī)
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接觸角測(cè)量?jī)x