旋涂?jī)x

n產(chǎn)品簡(jiǎn)介

UNIXX SA20/30 半自動(dòng)旋涂?jī)x可提供出色的涂層均勻性和可重復(fù)性，特別是適用于薄涂層的旋涂，支持最大 Ø200 (Ø300) mm 的晶圓或者230mm*230mm的方片，并可配置用于旋涂、邊緣去膠、清洗和干燥模組。

n產(chǎn)品特色

÷ 開(kāi)放式工作腔

÷ 圓形晶圓最大可達(dá) Ø200 (Ø300) mm

÷ 方形襯底最大可達(dá) 150 x 150 (230 x 230) mm

÷ 適用于極薄和薄的光刻膠、SOG、Polymer 和 BCB 凸塊材料

÷ 易于清潔和維護(hù)

÷ 性價(jià)比高

÷ 手動(dòng)裝卸

÷ 用于硅晶圓、玻璃晶圓、陶瓷晶圓和復(fù)合材料

÷ 1x 點(diǎn)膠臂，最多 6 條管線

÷ 可選不同類型的噴嘴

÷ 直驅(qū)無(wú)刷旋轉(zhuǎn)電機(jī)

÷ 帶防濺環(huán)，更換簡(jiǎn)單

÷ 真空或低接觸卡盤或邊緣夾持卡盤可選

n技術(shù)數(shù)據(jù)

÷ 襯底尺寸: 最大可達(dá) Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

           最大可達(dá) Ø300 mm (Ø12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)

÷ 電機(jī)轉(zhuǎn)速: 最大 10.000 rpm，步長(zhǎng) 1 rpm，程序控制

÷ 電機(jī)加速: 最大 40.000 rpm/s，步長(zhǎng) 1 rpm/s

÷ 步進(jìn)時(shí)間: 1 到 999.9 秒, 步長(zhǎng) 0.1 s

÷ 工藝腔體材料:  PP 

÷ 工藝蓋: 帶安全中斷傳感器的透明塑料蓋