晶圓魔鏡
n產品簡介
晶圓墨鏡可以在30秒內測量出整個晶圓的納米級形貌，主要用于測量晶圓表面的納米級缺陷。
n產品原理：采用魔鏡反射原理
n 產品特性：
- 一次測量300mm整個表面形貌，無需縫合
- 納米級極高分辨率
- 市場上最快的完整表面測量
- 對振動無特殊要求
- 適用于所有反光表面的創新技術
n主要技術參數:
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測量范圍 |
12寸，向下兼容 |
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動態范圍 |
坡度: ±0.14° |
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bow: ＜100 µm |
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橫向分辨率 |
110 µm |
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縱向分辨率 |
1 nm (typically, with small bow below 50 µm) |
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重復性 |
1 σ ≤ 1 nm |
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每張測量時間 |
30 sec |
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軟件分析試劑 |
1 - 2 minutes |
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振動等級要求 |
VC-A |
n產品應用：
拋光減薄后的晶圓，玻璃表面缺陷檢測。
產品中心
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三維表面形貌儀
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Mountains分析軟件
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微納米力學測試系統
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摩擦磨損試驗機
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SIC晶錠滾磨機/晶圓減薄機
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CMP化學機械拋光/后清洗機
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晶圓粘片機
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臨時鍵合機/解鍵合機
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晶圓厚度/三維形貌/膜厚測量系統
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表面顆粒度檢測系統
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原子力顯微鏡
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拉曼顯微鏡
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紅外光譜儀
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4D生物顯微鏡
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晶圓AOI系統
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晶圓電阻率/方塊電阻測量儀
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納米壓印系統
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光柵尺寸無損檢測儀
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磁控濺射/熱蒸發/電子束鍍膜系統
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LPCVD/PECVD
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干法刻蝕
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等離子灰化去膠系統
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晶圓勻膠機/噴膠機
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晶圓烤膠系統（熱板）
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濕法（顯影刻蝕清洗）系統
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晶圓貼片機/貼膜/解膠機
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棱鏡耦合儀
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快速退火爐/真空高溫爐
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光刻膠邊緣分析
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劃片機
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平面磨床/金屬研磨機
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接觸角測量儀
微納（香港）科技有限公司
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