全自動臨時鍵合機

n產(chǎn)品簡介

AFIXX 20a 是一款全自動臨時鍵合設(shè)備，主要用于將單個基板，碎片等臨時粘合到剛性載體或其他基板上。裝載和卸載和臨時鍵合過程均是全自動執(zhí)行的。它適用于非常薄的易碎基材和柔性塑料材料，系統(tǒng)集成了一個加熱板，可以將載體或基材加熱到 200ºC。

n產(chǎn)品特色

÷ 全自動機臺cassette to casstte

÷ 基材尺寸最大Ø 200 mm (Ø 8″)（可選  Ø 300 mm (Ø 12″) 或 230 x 230 mm (9″x 9″)）

÷ 全自動自動臨時粘接處理

÷ 高達(dá) 200ºC 的集成加熱板

÷ 適用于非常薄的易碎晶圓 (< 40 μm) 和柔性塑料材料

÷ 良好的 TTV

÷ 用于精確對準(zhǔn)晶圓和載體的激光標(biāo)記

÷ 用于安全過程觀察的透明門

÷ 用于操作 GUI 的系統(tǒng)控制單元 (windows 7 /10)

÷ 22" 觸摸屏顯示器

÷ 與硅、化合物和玻璃材料兼容

÷ 設(shè)計大批量生產(chǎn)

n產(chǎn)業(yè)應(yīng)用

該系統(tǒng)主要用于 CMP、研磨、拋光和蝕刻等工業(yè)的臨時鍵合處理。

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