12寸工業級全自動CMP拋光機

n產品簡介

      韓國CTS公司的AIP-300型CMP拋光機是一款12寸工業級CMP系統，可兼容4寸，6寸，8寸，12寸樣品，可用于工廠及批量生產。

n產品主要特色

- CMP拋光頭：采用氣囊加載模式，5區壓力獨立控制，可得到良好的工業級拋光效果；

- 自動上下片，自動拋光，干進干出。

- 拋光墊修整器：擺臂式設計，由13個傳感器分別控制13個區域的下壓力，可保證拋光墊高水平修整；

- 拋光墊修整器：具有在線修整與離線修整兩種模式。

- 工藝數據可實時監測。

- 可存儲多個Recipe。

- 帶兩個手臂

-帶全自動后清洗模塊

n核心技術參數

n應用案例

- CMP工藝 Si CMP, 氧化物 CMP(BPSG, TEOS, ThOx), 金屬 CMP(W, Cu), 介質膜，STI等

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