12寸工業(yè)級全自動CMP拋光機

n產(chǎn)品簡介

      韓國CTS公司的AIP-300型CMP拋光機是一款12寸工業(yè)級CMP系統(tǒng)，可兼容4寸，6寸，8寸，12寸樣品，可用于工廠及批量生產(chǎn)。

n產(chǎn)品主要特色

- CMP拋光頭：采用氣囊加載模式，5區(qū)壓力獨立控制，可得到良好的工業(yè)級拋光效果；

- 自動上下片，自動拋光，干進(jìn)干出。

- 拋光墊修整器：擺臂式設(shè)計，由13個傳感器分別控制13個區(qū)域的下壓力，可保證拋光墊高水平修整；

- 拋光墊修整器：具有在線修整與離線修整兩種模式。

- 工藝數(shù)據(jù)可實時監(jiān)測。

- 可存儲多個Recipe。

- 帶兩個手臂

-帶全自動后清洗模塊

n核心技術(shù)參數(shù)

n應(yīng)用案例

- CMP工藝 Si CMP, 氧化物 CMP(BPSG, TEOS, ThOx), 金屬 CMP(W, Cu), 介質(zhì)膜，STI等

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